מאכן און מעסטן אין מיקראָ MIM מאַנופאַקטורינג

א גירבעל איז אַ קאָמפּאָנענט אין אַ טראַנסמיסיע מיטל וואָס טראַנסמיטט ראָוטיישאַנאַל קראַפט צו אן אנדער גאַנג אָדער מיטל און איז אויך אַ מאַשין עלעמענט פֿאַר הויך אַקיעראַסי פּאַזישאַנינג. אין די לעצטע יאָרן, עטלעכע אַוואַנסירטע מיקראָ מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז און מיקראָ-סייזד גירז געמאכט פון מעטאַלס ​​און עטלעכע אַוואַנסירטע סעראַמיקס זענען מאַניאַפאַקטשערד [1].מיקראָ-פּלאַנאַטערי גאַנג מאָטאָרסזיי זענען אויך געמאכט פון ניקאַל-פעראַס (Ni-Fe) און ניקאַל-באזירט פאַרנעם מעטאַלליק ברילן דורך X-Ray ליטהאָגראַפי און עלעקטראָ-דעפּאַזישאַן (דירעקט-ליג) [2] און ינדזשעקשאַן מאָלדינג [3], ריספּעקטיוולי. /

אָבער, עס איז פאָדערונג פֿאַר מיקראָניזעד גירז געמאכט פון דוראַבאַל מאַטעריאַלס פֿאַר אַלגעמיין ציל פֿאַר מיניאַטוריזאַטיאָן און רילייאַבילאַטי פון פאַרשידן פּראָדוקטן. אין מאַנופאַקטורינג טערמינען, דער ציל איז צו דערגרייכן אַ הויך עקאָנאָמיש עפעקטיווקייַט צו באַפרידיקן ינדאַסטרי נויט. מיקראָ מעטאַל פּודער ינדזשעקשאַן מאָלדינג (μ MIM) איז נוציק פֿאַר פּראַדוסינג מיקראָ-סייזד און מיקראָסטרוקטורעד טיילן [4-5], אָבער מעסטן די אַקיעראַסי פון מיקראָ-גירז מאַניאַפאַקטשערד דורך μ MIM איז פּרוווד שווער. /

A מיקראָ-פּלאַנעטאַרי גאַנגגעמאכט פון 17-4PH ומבאַפלעקט שטאָל איז מאַניאַפאַקטשערד דורך μ MIM ווי אַ טייל פון די אָסאַקאַ פּרויעקט. די קוואַליטעט פון די הינטער-סאָליד פּלאַנעט גאַנג איז עוואַלואַטעד דורך מעסטן די ווערייישאַן אין דימענשאַנז פון די גאַנג ציין מיט דיגיטאַל בילד אַנאַליסיס. דימיקראָ-פּלאַנעטאַרי גאַנגקאַמפּאָוזד פון דריי טייפּס פון גירבאַלז מאַניאַפאַקטשערד דורך μ MIM פּראָצעס איז געוויזן אין פיגורע 1. אין דעם לערנען, די אַקיעראַסי פון די פּלאַנעט גאַנג מיט דימענשאַנז געוויזן אין פיגורע 1 (c) איז עוואַלואַטעד. די ספּעסיפיקאַטיאָן פון די פּלאַנעט גאַנג (ווי סינטערעד) איז געוויזן אין טאַבלע 1. /