Chế tạo và đo lường trong sản xuất micro MIM

Bánh răng là một bộ phận bên trong một thiết bị truyền động có tác dụng truyền lực quay sang một bánh răng hoặc thiết bị khác và cũng là một bộ phận máy để định vị có độ chính xác cao. Trong những năm gần đây, một số quy trình sản xuất vi mô tiên tiến và bánh răng cỡ nhỏ làm bằng kim loại và một số loại gốm sứ tiên tiến đã được sản xuất [1].Động cơ bánh răng vi hành tinhcũng đã được chế tạo từ thủy tinh kim loại khối chứa niken (Ni-Fe) và niken bằng phương pháp quang khắc tia X & lắng đọng điện (LIG trực tiếp) [2] và ép phun [3], tương ứng. /

Tuy nhiên, có nhu cầu về bánh răng micronized làm bằng vật liệu bền đa năng để thu nhỏ và cải thiện độ tin cậy của các sản phẩm khác nhau. Về mặt sản xuất, mục đích là đạt được hiệu quả kinh tế cao để đáp ứng nhu cầu công nghiệp. Đúc phun bột kim loại vi mô (μ MIM) rất hữu ích để sản xuất các bộ phận có kích thước vi mô và cấu trúc vi mô [4-5], nhưng việc đo độ chính xác của các bánh răng vi mô do μ MIM sản xuất tỏ ra khó khăn. /

A thiết bị vi hành tinhlàm bằng thép không gỉ 17-4PH được sản xuất bởi μ MIM như một phần của dự án Osaka. Chất lượng của bánh răng hành tinh siêu nhỏ gọn được đánh giá bằng cách đo sự thay đổi kích thước của răng bánh răng bằng phân tích hình ảnh kỹ thuật số. cácthiết bị vi hành tinhbao gồm ba loại bánh răng được sản xuất theo quy trình μ MIM được thể hiện trong Hình 1. Trong nghiên cứu này, độ chính xác của bánh răng hành tinh có kích thước như trong Hình 1(c) đã được đánh giá. Thông số kỹ thuật của bánh răng hành tinh (như thiêu kết) được thể hiện trong Bảng 1. /