마이크로 MIM 제조의 제작 및 측정

기어휠은 회전력을 다른 기어나 장치에 전달하는 변속기 장치 내의 구성 요소이자 고정밀 위치 결정을 위한 기계 요소이기도 합니다. 최근 몇 년 동안 금속과 일부 고급 세라믹으로 만들어진 일부 고급 마이크로 제조 공정과 마이크로 크기 기어가 제조되었습니다[1].마이크로 유성 기어 모터또한 X선 리소그래피 및 전착(직접 LIG)[2] 및 사출 성형[3]을 통해 각각 니켈-철(Ni-Fe) 및 니켈 기반 벌크 금속 유리로 만들어졌습니다. /

그러나 다양한 제품의 소형화 및 신뢰성 향상을 위해 범용 내구성 소재로 제작된 미세화 기어에 대한 수요가 있습니다. 제조 측면에서 목표는 산업적 요구를 충족시키기 위해 높은 경제적 효율성을 달성하는 것입니다. 마이크로 금속 분말 사출 성형(μ MIM)은 마이크로 크기 및 미세 구조 부품을 생산하는 데 유용하지만[4-5], μ MIM으로 제조된 마이크로 기어의 정확도를 측정하는 것은 어려운 것으로 입증되었습니다. /

A 마이크로 유성기어17-4PH 스테인리스 스틸로 제작된 이 제품은 오사카 프로젝트의 일환으로 μMIM에서 제조되었습니다. 초소형 유성기어의 품질은 디지털 이미지 분석을 통해 기어 치형의 치수 변화를 측정하여 평가하였습니다. 그만큼마이크로 유성기어μ MIM 공정으로 제조된 세 가지 유형의 기어휠로 구성된 그림 1은 그림 1에 나와 있습니다. 본 연구에서는 그림 1(c)와 같은 치수의 유성기어의 정확도를 평가하였다. 유성기어(소결상태)의 사양은 표 1과 같다. /